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Algumas das vantagens da gravação a seco são sua capacidade de automação, consumo de material reduzido, a capacidade de usar diferentes gases de gravação com configurações de processo muito diferentes na mesma ferramenta com pouca ou nenhuma mudança de hardware ao longo do tempo.
- Qual é a diferença entre a corrosão úmida e a seca?
- Quais das seguintes são vantagens do processo de corrosão úmida?
- O que é gravura seca e úmida?
- Quais das seguintes são desvantagens do processo de corrosão a seco?
- O que pode causar o evento de corrosão na corrosão seca?
- Qual é a melhor corrosão química úmida ou química seca?
- Qual é a vantagem do track etching?
- Para que é usada a corrosão de plasma?
- Quando a seletividade do etch é alta, isso significa?
- O que é processo de corrosão úmida?
- Qual é a diferença entre gravura e gravura?
- Qual processo é usado para gravação a seco?
Qual é a diferença entre a corrosão úmida e a seca?
A gravação a seco e a úmido são dois tipos principais de processos de gravação. Esses processos são úteis para a remoção de materiais de superfície e criação de padrões nas superfícies. A principal diferença entre o condicionamento seco e o condicionamento úmido é que o condicionamento seco é feito na fase líquida, enquanto o condicionamento úmido é feito na fase de plasma.
Quais das seguintes são vantagens do processo de corrosão úmida?
Apesar das limitações de resolução do ataque úmido, ele encontrou amplo uso devido às seguintes vantagens: 1) baixo custo; 2) alta confiabilidade; 3) alto rendimento; e 4) excelente seletividade na maioria dos casos com relação aos materiais da máscara e do substrato.
O que é gravura seca e úmida?
Em geral, existem duas classes de processos de corrosão: A corrosão úmida, em que o material é dissolvido quando imerso em uma solução química. Gravura a seco onde o material é pulverizado ou dissolvido usando íons reativos ou um agente de corrosão em fase de vapor.
Quais das seguintes são desvantagens do processo de corrosão a seco?
A gravação a seco tem suas desvantagens. Principalmente, requer equipamentos muito complexos. Também existe a possibilidade de formação de particulados e os resíduos podem ser deixados no substrato. O processo também é caro.
O que pode causar o evento de corrosão na corrosão seca?
A corrosão a seco se refere à remoção de material, normalmente um padrão mascarado de material semicondutor, expondo o material a um bombardeio de íons (geralmente um plasma de gases reativos, como fluorocarbonos, oxigênio, cloro, tricloreto de boro; às vezes com adição de nitrogênio, argônio, hélio e outros gases) que ...
Qual é a melhor corrosão química úmida ou química seca?
A gravação úmida é geralmente isotrópica, o que resulta nos produtos químicos do gravador removendo o material do substrato sob o material de máscara na mesma taxa que a gravação em massa. ... O descarte de produtos químicos de gravação a seco (por exemplo, gravação de plasma) custa menos e é mais fácil de descartar os subprodutos em comparação com a gravação úmida.
Qual é a vantagem do track etching?
As membranas track-etch oferecem vantagens distintas em relação às membranas convencionais devido à sua estrutura determinada com precisão. Seu tamanho, forma e densidade de poros podem ser variados de uma maneira controlável de modo que uma membrana com as características de transporte e retenção necessárias possa ser produzida.
Para que é usada a corrosão de plasma?
A gravação a plasma é usada para 'tornar áspera' uma superfície, em escala microscópica. A superfície do componente é geralmente gravada com um gás de processo reativo que dá um efeito químico e físico na superfície.
Quando a seletividade do etch é alta, isso significa?
Alta seletividade é um termo relativo para descrever quando dois materiais são gravados em taxas de corrosão significativamente diferentes para fornecer os resultados desejados. Muitas vezes, refere-se a casos em que a máscara está gravando lentamente em comparação com o material que está sendo padronizado com a gravação.
O que é processo de corrosão úmida?
Definição. A corrosão úmida é um processo de remoção de material que usa produtos químicos líquidos ou corrosivos para remover materiais de um wafer. ... (2) A reação entre o ácido líquido e o material sendo removido. Uma reação de redução-oxidação (redox) geralmente ocorre.
Qual é a diferença entre gravura e gravura?
A principal diferença entre eles é que a gravação é um processo físico e a gravação é um processo químico. Um gravador usa ferramentas afiadas para cortar linhas diretamente em uma superfície, enquanto um gravador queima linhas em uma superfície com ácido.
Qual processo é usado para decapagem a seco?
Na decapagem a seco, o material do substrato é removido pela colisão de radicais no plasma ou por gases de corrosão. ... A corrosão química a seco (também chamada de corrosão em fase de vapor) envolve uma reação química entre gases decapantes para atacar a superfície de silício ou o substrato. O processo não usa produtos químicos líquidos ou acondicionantes.
