gravura em vlsi

1. O que é gravação em VLSI?
2. O que é gravura e seus tipos?
3. O que significa processo de gravação?
4. Qual é o propósito de gravura?
5. Como você controla gravura?
6. O que é o processo de corrosão de plasma?
7. Quais são as duas técnicas usadas na gravação?
8. Qual é a diferença entre a corrosão úmida e a seca?
9. Qual é a diferença entre gravura e gravura?
10. Quando a seletividade do etch é alta, isso significa?
11. O que significa gravação original?

O que é gravação em VLSI?

Gravura para criar um padrão em um substrato. Na fabricação de dispositivos semicondutores, a corrosão se refere a qualquer tecnologia que removerá seletivamente o material de uma película fina em um substrato (com ou sem estruturas anteriores em sua superfície) e, por meio dessa remoção, criará um padrão desse material no substrato.

O que é gravura e seus tipos?

Em geral, existem duas classes de processos de corrosão: A corrosão úmida, em que o material é dissolvido quando imerso em uma solução química. Gravura a seco onde o material é pulverizado ou dissolvido usando íons reativos ou um agente de corrosão em fase de vapor.

O que significa processo de gravação?

O ataque ácido é tradicionalmente o processo de usar ácido forte ou mordente para cortar as partes desprotegidas de uma superfície de metal para criar um desenho em talhe doce (inciso) no metal. ... Na gravação pura tradicional, uma placa de metal (geralmente de cobre, zinco ou aço) é coberta com um solo ceroso que é resistente ao ácido.

Qual é o propósito de gravura?

A corrosão é usada para revelar a microestrutura do metal por meio de um ataque químico seletivo. Também remove a camada fina e altamente deformada introduzida durante o desbaste e polimento. Em ligas com mais de uma fase, a corrosão cria contraste entre diferentes regiões por meio de diferenças na topografia ou refletividade.

Como você controla gravura?

A corrosão química úmida é isotrópica e produz microcanais arredondados nas paredes laterais. A forma e o ângulo da parede lateral podem ser ajustados aplicando titânio como uma máscara de recuo durante a corrosão úmida (Fig. 1.5) (Pekas et al., 2010). A profundidade do canal é controlada pela taxa de corrosão e duração da corrosão.

O que é o processo de corrosão de plasma?

A gravação a plasma é uma forma de processamento de plasma usada para fabricar circuitos integrados. ... Durante o processo, o plasma gera produtos de corrosão voláteis à temperatura ambiente a partir das reações químicas entre os elementos do material gravado e as espécies reativas geradas pelo plasma.

Quais são as duas técnicas usadas na gravação?

Desde então, muitas técnicas de gravação foram desenvolvidas, as quais são frequentemente usadas em conjunto: a gravação em solo macio usa uma resistência ou terra que não seca, para produzir linhas mais suaves; a mordida na saliva envolve pintar ou espirrar ácido no prato; mordida aberta em que áreas da placa são expostas ao ácido sem ...

Qual é a diferença entre a corrosão úmida e a seca?

A gravação a seco e a úmido são dois tipos principais de processos de gravação. Esses processos são úteis para a remoção de materiais de superfície e criação de padrões nas superfícies. A principal diferença entre o condicionamento seco e o condicionamento úmido é que o condicionamento seco é feito na fase líquida, enquanto o condicionamento úmido é feito na fase de plasma.

Qual é a diferença entre gravura e gravura?

A principal diferença entre eles é que a gravação é um processo físico e a gravação é um processo químico. Um gravador usa ferramentas afiadas para cortar linhas diretamente em uma superfície, enquanto um gravador queima linhas em uma superfície com ácido.

Quando a seletividade do etch é alta, isso significa?

Alta seletividade é um termo relativo para descrever quando dois materiais são gravados em taxas de corrosão significativamente diferentes para fornecer os resultados desejados. Muitas vezes, refere-se a casos em que a máscara está gravando lentamente em comparação com o material que está sendo padronizado com a gravação.

O que significa gravação original?

A gravura é um meio antigo e foi aperfeiçoado na Alemanha durante o primeiro quarto do século XVI. A imagem para uma gravura é criada em uma placa de metal. ... A tinta é transferida à força para o papel por uma prensa especial de gravação. Quando o papel é removido da placa, uma gravação original pode ser vista.